特許
J-GLOBAL ID:202003000124338976

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 正林 真之
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-078240
公開番号(公開出願番号):特開2017-187717
特許番号:特許第6717644号
出願日: 2016年04月08日
公開日(公表日): 2017年10月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 (A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤と、(S)溶剤とを含み、 前記(A)アルカリ可溶性樹脂が、カルド構造を有する樹脂を含み、 前記(S)溶剤が、大気圧下における沸点が180°C未満である(L)低沸点溶剤、及び、大気圧下における沸点が180°C以上250°C以下である(H)高沸点溶剤を含み、 前記(H)高沸点溶剤が、芳香族炭化水素環とエステル結合とを有する化合物を含み、 前記(S)溶剤中の、前記(H)高沸点溶剤の含有量が1質量%以上30質量%以下である、 感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  G03F 7/027 ( 200 6.01) ,  G02B 5/20 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01)
FI (5件):
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 512 ,  G03F 7/004 505 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/20 501
引用特許:
審査官引用 (2件)

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