特許
J-GLOBAL ID:202003000124338976
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
正林 真之
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-078240
公開番号(公開出願番号):特開2017-187717
特許番号:特許第6717644号
出願日: 2016年04月08日
公開日(公表日): 2017年10月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 (A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤と、(S)溶剤とを含み、
前記(A)アルカリ可溶性樹脂が、カルド構造を有する樹脂を含み、
前記(S)溶剤が、大気圧下における沸点が180°C未満である(L)低沸点溶剤、及び、大気圧下における沸点が180°C以上250°C以下である(H)高沸点溶剤を含み、
前記(H)高沸点溶剤が、芳香族炭化水素環とエステル結合とを有する化合物を含み、
前記(S)溶剤中の、前記(H)高沸点溶剤の含有量が1質量%以上30質量%以下である、
感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/027 ( 200 6.01)
, G02B 5/20 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
FI (5件):
G03F 7/004 501
, G03F 7/027 512
, G03F 7/004 505
, G02B 5/20 101
, G03F 7/20 501
引用特許:
前のページに戻る