特許
J-GLOBAL ID：202003000361329027
圧子透過式試験体表面観察装置、観察方法及び動画像解析・装置制御・特性値演算用プログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-210069
公開番号（公開出願番号）：特開2017-146294
特許番号：特許第6755475号
出願日： 2016年10月26日
公開日（公表日）： 2017年08月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 特定波長の光を透過する透明圧子を用いて試験体の表面に荷重を加えた際の前記表面を観察する観察装置であって、
前記試験体に荷重を加える加圧手段と、
前記荷重を計測する荷重計測手段と、
前記加圧手段で荷重を加えている前記試験体の表面を撮像する撮像手段と、を有し、
前記撮像手段は、前記透明圧子を透して試験体を撮像し、
前記観察は、
(1)表面の形状、双晶若しくは転位又は/及び亀裂の観察、
(2)形状記憶合金の機構解明のための観察、
(3)合金開発でのスクリーニングのための観察、
(4)応力誘起変態機構解明のための観察、
(5)表面脆性相の破壊と剥離の観察、
(6)ボールオンディスクスクラッチを模した摩耗特性を把握するための観察、及び
(7)ボールオンディスクスクラッチを模した薄膜密着性評価のための観察
からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、
前記透明圧子と、前記試験体の表面の隙間には液体が存在しており、
前記透明圧子及び前記液体の屈折率は、所定の波長の光を用いて25±5°Cで測定したときに略等しいことを特徴とする観察装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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