特許
J-GLOBAL ID：202003000381779983

微粒子製造装置及び微粒子製造方法

発明者：
永井 久雄

永井 久雄 について

, 
大熊 崇文

大熊 崇文 について

, 
小岩崎 剛

小岩崎 剛 について


出願人/特許権者：
パナソニックIPマネジメント株式会社

パナソニックIPマネジメント株式会社 について


代理人 (4件)： 松谷 道子 ,  岡部 博史 ,  徳山 英浩 ,  和田 充夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-094501
公開番号（公開出願番号）：特開2020-189257
出願日： 2019年05月20日
公開日（公表日）： 2020年11月26日
要約：
【課題】 熱プラズマの放電安定性を高め、微粒子の処理効率を向上、生産量を増加させることができる微粒子製造装置及び方法を提供する。【解決手段】プラズマ16を発生させ、材料粒子17から微粒子18を製造する微粒子製造装置であって、反応室1と、反応室の一端側に接続されて、材料粒子を反応室内に材料供給口12から供給する材料供給装置10と、材料供給装置の周りに配置され、位相が互いに異なる交流電力がそれぞれ印加されて反応室内にプラズマを発生させる複数の電極4と、反応室の他端に接続されて微粒子を回収する回収部3と、を備え、複数の電極には、多相変換回路60,61を介した交流電力が接続され、複数の電極は、反応室の水平面に対して45°以上でかつ90°未満の傾斜を有した6本以上の電極有する。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
プラズマを発生させ、材料粒子から微粒子を製造する微粒子製造装置であって、 反応室と、 前記反応室の一端側に接続されて、前記材料粒子を前記反応室内に延びた材料供給管の材料供給口から供給する材料供給装置と、 前記材料供給口の周りに配置され、位相が互いに異なる交流電力がそれぞれ印加されて前記反応室内に前記プラズマを発生させる複数の電極と、 前記反応室の他端に接続されて前記微粒子を回収する回収部と、を備え、 前記複数の電極には、多相変換回路を介した交流電力が接続され、 前記複数の電極は、前記反応室の水平面に対して45°以上でかつ90°未満の傾斜を有した6本以上の電極である、 微粒子製造装置。
IPC (5件)：
B01J 19/08 ,  B22F 9/12 ,  B22F 9/14 ,  C01B 33/02 ,  H05H 1/24
FI (5件)：
B01J19/08 K ,  B22F9/12 Z ,  B22F9/14 Z ,  C01B33/02 Z ,  H05H1/24
Fターム (56件)：
2G084AA15 ,  2G084BB03 ,  2G084BB06 ,  2G084BB11 ,  2G084BB37 ,  2G084CC03 ,  2G084CC23 ,  2G084CC33 ,  2G084DD12 ,  2G084DD25 ,  2G084DD32 ,  2G084FF04 ,  2G084FF14 ,  4G072AA01 ,  4G072BB05 ,  4G072GG01 ,  4G072GG03 ,  4G072GG04 ,  4G072GG05 ,  4G072HH01 ,  4G072LL03 ,  4G072MM40 ,  4G072RR11 ,  4G072RR25 ,  4G075AA27 ,  4G075BB02 ,  4G075CA02 ,  4G075CA03 ,  4G075CA17 ,  4G075CA48 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EA06 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4G075ED13 ,  4G075FB02 ,  4G075FB03 ,  4G075FB04 ,  4G075FC06 ,  4K017AA03 ,  4K017BA02 ,  4K017BA03 ,  4K017BA05 ,  4K017BA06 ,  4K017DA01 ,  4K017DA07 ,  4K017DA08 ,  4K017EF02 ,  4K017EG01 ,  4K017FA02 ,  4K017FA03 ,  4K017FA15 ,  5H050AA19 ,  5H050BA17 ,  5H050CB11
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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