特許
J-GLOBAL ID：202003001264375991
直径制御装置及びFZ単結晶の直径測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
好宮 幹夫
, 小林 俊弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-152276
公開番号（公開出願番号）：特開2018-020925
特許番号：特許第6645376号
出願日： 2016年08月02日
公開日（公表日）： 2018年02月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 FZ法により原料結晶棒をリング状のワークコイルで加熱溶融して溶融帯域を形成し、該溶融帯域を移動させてFZ単結晶を育成する際に、前記FZ単結晶の直径を制御する直径制御装置であって、
前記溶融帯域の側方に設置され、前記FZ単結晶の固液界面位置を水平方向から検出する第一のカメラと、該第一のカメラの下方に設置され、前記固液界面位置を斜め下の方向から検出する第二のカメラの少なくとも2つのカメラを有し、
前記ワークコイルに、前記固液界面位置の検出を行うための観察用の切り欠きが設けられたものであり、
前記第一のカメラ及び前記第二のカメラで検出した前記固液界面位置を用いて求められる前記FZ単結晶の直径の値に基づいて、前記FZ単結晶のコーン及び直胴中の直径を制御するものであることを特徴とする直径制御装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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