特許
J-GLOBAL ID：202003001755794767
高周波電源装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
菊池 新一
, 菊池 徹
, 松本 英俊
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-193689
公開番号（公開出願番号）：特開2018-057223
特許番号：特許第6748547号
出願日： 2016年09月30日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一定の直流出力を発生するDC電源部と、ハイサイドスイッチ及びローサイドスイッチを互いに直列に接続して両スイッチの接続点を中点としたレグを二つ備えて該二つのレグの一方及び他方をそれぞれ基準相のレグ及び制御相のレグとして両レグを前記DC電源部の出力端子間に並列に接続した構成を有するフルブリッジ型のスイッチング回路を備えたDC/RF変換部と、前記スイッチング回路の各レグを構成するハイサイドスイッチ及びローサイドスイッチ双方への駆動信号の供給を休止する期間であるデッドタイムを設けながら、負荷に供給する高周波電力を前記DC/RF変換部から出力させるべく、前記基準相のレグのハイサイドスイッチをオン状態にした後制御相のレグのローサイドスイッチをオン状態にする動作と、基準相のレグのローサイドスイッチをオン状態にした後制御相のレグのハイサイドスイッチをオン状態にする動作とを交互に行わせるように前記スイッチング回路を構成するスイッチを制御する制御部とを有する高周波電力発生部と、前記高周波電力発生部と負荷との間に挿入されたインピーダンス整合器とを備え、各レグの各スイッチの出力静電容量と前記DC/RF変換部内に存在するインダクタとを通して部分共振電流を流して各レグのスイッチの出力静電容量の充放電を行わせる充放電回路が各スイッチに対して構成されている高周波電源装置において、
前記DC電源部の出力電圧が両端に印加されたコンデンサ分圧回路と、前記コンデンサ分圧回路の分圧点と前記スイッチング回路の制御相のレグの中点との間に補助回路用スイッチを通して接続された補助リアクトルとを備えて、前記制御相のレグの各スイッチに対して構成された充放電回路を流れる部分共振電流に重畳する補充電流を前記DC電源部から前記コンデンサ分圧回路と前記補助リアクトルと前記補助回路用スイッチとを通して出力する共振補助回路と、
前記補充電流の重畳を行わなくても前記制御相のレグのスイッチの出力静電容量の充放電を前記デッドタイムの期間に完了させることができるときに前記補助回路用スイッチをオフ状態に保持し、前記補充電流の重畳を行わなくては前記制御相のレグのスイッチの出力静電容量の充放電を前記デッドタイムの期間に完了させることができないときに前記補助回路用スイッチをオン状態にするように前記補助回路用スイッチのオンオフを制御する補助回路用スイッチ制御部と、
を具備し、
前記補助回路用スイッチ制御部は、前記インピーダンス整合器によるインピーダンスの整合がとれているか否かを判定する整合状態判定手段と、前記整合状態判定手段によりインピーダンスの整合がとれていないと判定されたときに前記補助回路用スイッチをオン状態にし、前記整合状態判定手段によりインピーダンスの整合がとれていると判定されたときに前記補助回路用スイッチをオフ状態にするように前記補助回路用スイッチを制御するスイッチ制御手段とを備えていることを特徴とする高周波電源装置。
IPC (2件)：
H02M 7/48 ( 200 7.01)
, H05H 1/46 ( 200 6.01)
H02M 7/48 E
, H02M 7/48 P
, H05H 1/46 R
