特許
J-GLOBAL ID：202003001912692787
ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法及び加振装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森定 勇二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-229574
公開番号（公開出願番号）：特開2020-090940
出願日： 2018年12月07日
公開日（公表日）： 2020年06月11日
要約：
【課題】ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法等を提供すること。【解決手段】ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法は、真空チャンバー20とドライ真空ポンプ30との間に介在する垂直方向に配設された配管40に所定の加振装置1を装着して、当該配管40を振動させることにより、ドライ真空ポンプの停止又は故障を回避又は防止する。加振装置1は、配管40の外周に装着するクランプ部11と、クランプ部11から延伸する支持部12と、支持部12と接続する所定の振動源13と、を少なくとも備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
真空設備を構成するドライ真空ポンプが停止又は故障することを回避又は防止する方法であって、
真空チャンバーとドライ真空ポンプとの間に介在する垂直方向に配設された配管に所定の加振装置を装着して、当該配管を振動させることにより、
ドライ真空ポンプが真空チャンバーから放出される粉体により停止又は故障することを回避又は防止する方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
F04B37/16 A
, F04B37/16 Z
3H076AA21
, 3H076BB13
, 3H076BB28
, 3H076BB43
, 3H076CC51
, 3H076CC94
