特許

J-GLOBAL ID：202003001970488669

有機ELパネル製造装置、有機ELパネルの製造方法及び有機ELパネル

発明者： 鈴木 遼河
出願人/特許権者： 株式会社東海理化電機製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人平田国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-149118
公開番号（公開出願番号）：特開2020-024865
出願日： 2018年08月08日
公開日（公表日）： 2020年02月13日
要約：

【課題】歩留まりを向上させることができる有機ELパネル製造装置、有機ELパネルの製造方法及び有機ELパネルを提供する。【解決手段】有機ELパネル製造装置1は、側面10cが曲面となる柱体形状を有する回転ドラム10と、回転ドラム10の側面10cに設けられた開口部121内を搬送路120とし、搬送路120に沿って、湾曲した基板3を搬送する搬送部と、搬送路120の上方であって回転ドラム10の側面10cに取り付けられたマスクと、マスクの位置まで搬送され、回転ドラム10の回転に応じて回転する基板3に、マスクを介して有機ELパネル9の材料を蒸着させる蒸着部20と、を備えて概略構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

側面が曲面となる柱体形状を有する回転ドラムと、 前記回転ドラムの前記側面に設けられた開口部内を搬送路とし、前記搬送路に沿って、湾曲した基板を搬送する搬送部と、 前記搬送路の上方であって前記回転ドラムの前記側面に取り付けられたマスクと、 前記マスクの位置まで搬送され、前記回転ドラムの回転に応じて回転する前記基板に、前記マスクを介して有機ELパネルの材料を蒸着させる蒸着部と、 を備えた有機ELパネル製造装置。

IPC (2件)：

H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (2件)：

H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (9件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC09 ,  3K107CC45 ,  3K107DD06 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  3K107GG31 ,  3K107GG33