特許

J-GLOBAL ID：202003002746519547

ロードポート、および、EFEM

発明者： 谷山 育志 ,  森鼻 俊光
出願人/特許権者： シンフォニアテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 大西 雅直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-127296
公開番号（公開出願番号）：特開2020-009825
出願日： 2018年07月04日
公開日（公表日）： 2020年01月16日
要約：

【課題】ロードポートの適正な動作を担保しつつ、ロードポートの軽量化を実現することができる技術の提供。【解決手段】ロードポート1は、処理装置に形成された開口を塞ぐように取り付けられるベース部10と、ベース部10に取り付けられる駆動機構40,50と、を備える。ベース部10は、ウエハを通過させるためのウエハ通過開口部11を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するポートフレーム110と、ポートフレーム110と連結され、ポートフレーム110よりも剛性が高く、駆動機構40,50を支持する支持プレート120と、を備える。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

格納容器に格納されたウエハを、処理装置に出し入れするためのロードポートであって、 前記処理装置に形成された開口を塞ぐように取り付けられるベース部と、 前記ベース部に取り付けられる駆動機構と、 を備え、 前記ベース部が、 前記ウエハを通過させるためのウエハ通過開口部を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するポートフレームと、 前記ポートフレームと連結され、前記ポートフレームよりも剛性が高く、前記駆動機構を支持する支持プレートと、 を備える、ロードポート。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (23件)：

5F131AA02 ,  5F131CA09 ,  5F131CA18 ,  5F131CA19 ,  5F131CA38 ,  5F131DA05 ,  5F131DA22 ,  5F131DA32 ,  5F131DA42 ,  5F131DC02 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131FA02 ,  5F131FA14 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131GA14 ,  5F131GA83 ,  5F131GA88 ,  5F131HA02 ,  5F131HA29 ,  5F131JA16 ,  5F131KA02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ロードポート装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-188344   出願人：TDK株式会社
• ツールのフロントエンド加工物処理のための統合システム
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-514594   出願人：アシストテクノロジーズインコーポレイテッド