特許

J-GLOBAL ID：202003002897954377

治具、治具システムおよびノズルの保護方法

発明者： 小路丸 友則 ,  杉本 健太郎 ,  森岡 利仁 ,  屋敷 啓之 ,  加藤 雅彦
出願人/特許権者： 株式会社SCREENホールディングス
代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-218056
公開番号（公開出願番号）：特開2020-088084
出願日： 2018年11月21日
公開日（公表日）： 2020年06月04日
要約：

【課題】ノズルの吐出口に異物が付着する可能性を低減できる治具を提供する。【解決手段】治具1は、下面に形成された吐出口から基板へ処理液を吐出する基板処理装置用のノズル30を保護する治具である。治具1は、鉛直上方に開口する持ち運び可能な箱部材10と、ノズル30の下面が箱部材10に囲まれるように、ノズル30を箱部材10に着脱可能に固定する取付部材20とを備える。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

下面を有し、前記下面に形成された吐出口から基板へ処理液を吐出する基板処理装置用のノズルを保護する治具であって、 鉛直上方に開口する持ち運び可能な箱部材と、 前記ノズルの前記下面が前記箱部材に囲まれるように、前記ノズルを前記箱部材に着脱可能に固定する取付部材と を備える、治具。

IPC (3件)：

H01L 21/304 ,  B05C 5/00 ,  B05C 11/10

FI (3件)：

H01L21/304 643Z ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/10

Fターム (27件)：

4F041AA06 ,  4F041AB01 ,  4F041BA01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA60 ,  4F042AA07 ,  4F042CC03 ,  4F042CC04 ,  4F042CC08 ,  5F157AA03 ,  5F157AB02 ,  5F157AB14 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157BB22 ,  5F157BB23 ,  5F157BB24 ,  5F157BB33 ,  5F157BB39 ,  5F157BB73 ,  5F157CC11 ,  5F157CC21 ,  5F157CF06 ,  5F157DC21 ,  5F157DC41 ,  5F157DC90