光モジュール

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 柴山健一
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018025644
公開番号（公開出願番号）：WO2019-009401
出願日： 2018年07月06日
公開日（公表日）： 2019年01月10日
要約：

光モジュール1は、ベース21、可動ミラー22及び固定ミラー16を含むミラーユニット2と、Z軸方向におけるミラーユニット2の一方の側に配置されたビームスプリッタユニット3と、測定光L0をビームスプリッタユニット3に入射させる光入射部4と、Z軸方向におけるビームスプリッタユニット3の一方の側に配置され、ビームスプリッタユニット3から出射された測定光の干渉光L1を検出する第1光検出器6と、ミラーユニット2が取り付けられた支持体9と、ビームスプリッタユニット3を支持する第1支持構造11と、支持体9に取り付けられ、第1光検出器6を支持する第2支持構造12と、を備える。

請求項（抜粋）：

第1表面を有するベース、前記第1表面と交差する第1方向に沿って移動可能となるように前記ベースにおいて支持された可動ミラー、及び、前記ベースに対する位置が固定された固定ミラーを含むミラーユニットと、前記第1方向における前記ミラーユニットの一方の側に配置され、前記可動ミラー及び前記固定ミラーと共に干渉光学系を構成するビームスプリッタユニットと、第1光源から測定対象を介して入射した測定光又は測定対象から発せられた測定光を前記ビームスプリッタユニットに入射させる光入射部と、前記第1方向における前記ビームスプリッタユニットの前記一方の側に配置され、前記ビームスプリッタユニットから出射された前記測定光の干渉光を検出する第1光検出器と、前記ミラーユニットが取り付けられた支持体と、前記ビームスプリッタユニットを支持する第1支持構造と、前記支持体に取り付けられ、前記第1光検出器を支持する第2支持構造と、を備える、光モジュール。

IPC (4件)：

G01J 3/45 , G01B 9/02 , G02B 26/06 , G02B 5/08

FI (4件)：

G01J3/45 , G01B9/02 , G02B26/06 , G02B5/08 Z

Fターム (42件)：

2F064AA01 , 2F064BB05 , 2F064CC04 , 2F064EE01 , 2F064FF01 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG52 , 2F064HH01 , 2F064HH05 , 2F064JJ01 , 2F064KK01 , 2G020AA03 , 2G020CA12 , 2G020CB05 , 2G020CB24 , 2G020CB42 , 2G020CC22 , 2G020CC47 , 2G020CC55 , 2G020CD04 , 2G020CD22 , 2H042DA01 , 2H042DA12 , 2H042DA19 , 2H042DA20 , 2H042DE09 , 2H141MA27 , 2H141MB23 , 2H141MC04 , 2H141MC07 , 2H141MC09 , 2H141MD02 , 2H141MD04 , 2H141ME04 , 2H141ME09 , 2H141ME23 , 2H141ME24 , 2H141MF16 , 2H141MF26 , 2H141MZ26 , 2H141MZ30

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