特許

J-GLOBAL ID：202003003283237373

光検出器

発明者： 山崎 理弘 ,  柴山 勝己 ,  北浦 隆介
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-242467
公開番号（公開出願番号）：特開2018-096878
特許番号：特許第6726087号
出願日： 2016年12月14日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板と、 前記基板の表面との間に空隙が形成されるように前記基板の前記表面上に支持された膜体と、を備え、 前記膜体は、 ラインに沿って延在するギャップを介して互いに対向する第1配線層及び第2配線層と、 前記第1配線層及び前記第2配線層のそれぞれと電気的に接続され、温度に依存する電気抵抗を有する抵抗層と、 前記基板の前記表面と対向する光吸収層と、 前記第1配線層及び前記第2配線層のそれぞれと前記光吸収層との間に配置された分離層と、を有し、 前記光吸収層は、 前記基板の厚さ方向から見た場合に前記第1配線層に対して前記第2配線層の反対側に広がる第1領域と、 前記基板の厚さ方向から見た場合に前記第2配線層に対して前記第1配線層の反対側に広がる第2領域と、を含む、光検出器。

IPC (4件)：

G01J 1/02 ( 200 6.01) ,  H01L 31/0248 ( 200 6.01) ,  H01L 27/144 ( 200 6.01) ,  H01L 27/146 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01J 1/02 C ,  H01L 31/08 H ,  H01L 27/144 K ,  H01L 27/146 F