特許
J-GLOBAL ID：202003003582380476
変位測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人前田特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-211029
公開番号（公開出願番号）：特開2020-076679
出願日： 2018年11月09日
公開日（公表日）： 2020年05月21日
要約：
【課題】測定対象物が静止している場合であっても移動している場合であっても所定位置の変位を測定できるようにする。【解決手段】走査モードが選択されている場合に、測定対象物の異なる位置に測定光が順次照射されるように投光部及び走査部を制御する。一方、ラインモードが選択されている場合に、測定対象物の同一の位置に測定光が照射されるように投光部及び走査部を制御する。受光部から出力された受光量分布に基づいて測定対象物の変位を測定する。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
測定対象物の所定位置の変位を測定する変位測定装置において、
測定光源と、該測定光源からの光が入射する投光レンズとを有し、第1方向に延びる帯状の測定光を測定対象物に照射するための投光部と、
前記測定光を、前記第1方向と交差する第2方向に走査可能な走査部と、
前記測定対象物から反射した前記測定光を受光し、受光量分布を出力可能な2次元の受光素子からなる受光部と、
前記測定対象物の前記第2方向の異なる位置に前記測定光を順次照射する走査モードと、前記測定対象物の前記第2方向の同一の位置に前記測定光を照射するラインモードとのいずれかのモードを選択するモード選択部と、
前記モード選択部により前記走査モードが選択されている場合に、前記測定対象物の前記第2方向の異なる位置に前記測定光が順次照射されるように前記投光部及び前記走査部を制御する一方、前記モード選択部により前記ラインモードが選択されている場合に、前記測定対象物の前記第2方向の同一の位置に前記測定光が照射されるように前記投光部及び前記走査部を制御する測定制御部と、
前記受光部から出力された受光量分布に基づいて前記測定対象物の変位を測定する変位測定部とを備えていることを特徴とする変位測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (24件)：
2F065AA02
, 2F065AA06
, 2F065AA09
, 2F065AA12
, 2F065AA20
, 2F065BB01
, 2F065FF01
, 2F065FF09
, 2F065FF41
, 2F065GG04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL13
, 2F065LL15
, 2F065LL62
, 2F065QQ25
, 2F065RR08
, 5L096CA24
, 5L096FA06
, 5L096FA66
, 5L096FA67
, 5L096FA69
, 5L096JA09
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
出願人引用 (1件)
-
KEYENCE 白色干渉 3D 変位計 WI-5000シリーズ 設定ガイド, 20170329, 第1-22頁
審査官引用 (1件)
-
KEYENCE 白色干渉 3D 変位計 WI-5000シリーズ 設定ガイド, 20170329, 第1-22頁
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