特許
J-GLOBAL ID:202003003647976240

変位検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 服部 雅紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-124157
公開番号(公開出願番号):特開2020-003381
出願日: 2018年06月29日
公開日(公表日): 2020年01月09日
要約:
【課題】電流変化時にもインダクタンス変化に基づき被駆動体の変位量を検出可能な変位検出装置を提供する。【解決手段】変位検出装置10は、通電によりコイルが発生する磁気により被駆動体を駆動する駆動装置に適用され、被駆動体の変位量hを検出する。通電指令部13は、直流電流と交流電流とを重畳させた電流を駆動装置の磁気発生回路50に通電するように指令する。総和インダクタンス検出部15は、被駆動体の変位時における磁気発生回路50の総和インダクタンスL(I,h)を検出又は推定する。電流インダクタンス検出部16は、他要因インダクタンスとして電流インダクタンスL(I)を検出又は推定する。変位インダクタンス算出部17は、総和インダクタンスL(I,h)から電流インダクタンスL(I)を減じて、変位インダクタンスL(h)を算出する。変位量推定部18は、変位インダクタンスL(h)に基づき、被駆動体の変位量hを推定する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
通電によりコイル(54)が発生する磁気により被駆動体(51、80)を駆動する駆動装置(90)に適用され、前記被駆動体の変位量を検出する変位検出装置であって、 直流電流と交流電流とを重畳させた電流を前記駆動装置の磁気発生回路(50)に通電するように指令する通電指令部(13)と、 前記被駆動体の変位時における前記磁気発生回路の全インダクタンスの変化である総和インダクタンス(L(I,h))を検出又は推定する総和インダクタンス検出部(15)と、 前記被駆動体の変位以外の要因によるインダクタンス変化である他要因インダクタンス(L(I))を検出又は推定する他要因インダクタンス検出部(16)と、 前記総和インダクタンスから前記他要因インダクタンスを減じて、前記被駆動体の変位によるインダクタンス変化である変位インダクタンス(L(h))を算出する変位インダクタンス算出部(17)と、 前記変位インダクタンスに基づき、前記被駆動体の変位量(h)を推定する変位量推定部(18)と、 を備える変位検出装置。
IPC (2件):
G01D 5/20 ,  G01B 7/00
FI (2件):
G01D5/20 A ,  G01B7/00 101E
Fターム (14件):
2F063AA02 ,  2F063BA06 ,  2F063CA08 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063GA03 ,  2F063LA05 ,  2F063LA12 ,  2F063LA13 ,  2F063LA22 ,  2F077AA21 ,  2F077FF02 ,  2F077FF12 ,  2F077TT66

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