特許

J-GLOBAL ID：202003004290285312

ミラー

発明者： ゼンガー インゴ ,  ルオッフ ヨハネス ,  エンドレス マルティン ,  アイゼンマン トーマス
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
代理人 (7件)： 田中 伸一郎 ,  弟子丸 健 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  近藤 直樹 ,  那須 威夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-123970
公開番号（公開出願番号）：特開2018-185521
特許番号：特許第6722232号
出願日： 2018年06月29日
公開日（公表日）： 2018年11月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 a.多数の第1の領域(22)と、 b.少なくとも1つの第2の放射反射領域(23)と を含む分断化された全表面区域(24)を有するミラー(20)であって、 c.前記第1の領域が、いずれの場合にも、前記少なくとも1つの第2の領域から構造的に区切られ、それによって周辺を取り巻くように囲まれ、 d.前記第1の領域(22)が非周期的に配列され、 e.前記第1の領域(22)が、1mmから20mmの範囲の直径を有し、 f.前記第1の領域(22)が、前記少なくとも1つの第2の放射反射領域(23)の掩蔽を形成する投影露光装置用のミラー(20)。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  G02B 5/08 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 5/08 A

引用特許：

審査官引用 (7件)

• デジタルカメラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-185365   出願人：オリンパスイメージング株式会社
• 幾何ビームスプリッタおよびその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-206914   出願人：カールツァイスセミコンダクターマニュファクチャリングテクノロジーズアーゲー
• 液晶表示装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-140733   出願人：アルプス電気株式会社
• 反射板、及び反射型液晶表示パネル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-036525   出願人：松下電器産業株式会社
• フィルタ、光源装置及び撮像素子の検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-021507   出願人：AITOS株式会社
• 光学ユニット、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-261123   出願人：株式会社ニコン
• ミラーの配置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2014-541649   出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー