特許
J-GLOBAL ID:202003004934727478

付着物収集装置及び付着物解析システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人磯野国際特許商標事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-200095
公開番号(公開出願番号):特開2018-063123
特許番号:特許第6684027号
出願日: 2016年10月11日
公開日(公表日): 2018年04月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】 検査対象物を接触させる接触部と、 前記検査対象物が前記接触部から離れた後、前記接触部に向けて気流を噴射する噴射部と、 前記噴射部によって噴射された気流を回収する回収部と を有することを特徴とする付着物収集装置。
IPC (1件):
G01N 1/02 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01N 1/02 A ,  G01N 1/02 B
引用特許:
審査官引用 (8件)
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