特許

J-GLOBAL ID：202003004938881579

プロファイル測定装置

発明者： 肥田 雄一郎 ,  橋本 尚明
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (5件)： 大塚 康徳 ,  大塚 康弘 ,  高柳 司郎 ,  木村 秀二 ,  坂本 隆志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-211280
公開番号（公開出願番号）：特開2020-076695
出願日： 2018年11月09日
公開日（公表日）： 2020年05月21日
要約：

【課題】測定対象物の表面のプロファイルをより正確に求めること。【解決手段】プロファイル測定装置は、平面的な測定光を偏向するミラーであって、平面的な測定光の反射方向を変更可能なミラーと、ミラーを駆動することでミラーの反射方向を変更する駆動部と、ミラーに対する外部からの振動または、ミラーの角度を変更したときにミラーの角度が目標角度で安定するまでにミラーに生じる振動を検知する検知部と、検知部の検知結果に基づきミラーの振動が収束するように駆動部を制御する制御部とを有する。【選択図】図15

請求項（抜粋）：

光を出力する光源と、 前記光源から出力された光を平面的な測定光に変換して出力する変換光学系と、 前記変換光学系から出射された前記平面的な測定光が測定対象物の表面に向かうように導光する導光光学系と、 前記測定対象物からの反射光を受光する受光部と、 三角測量の原理に基づき、前記受光部における前記反射光の入射位置に応じて、前記測定対象物における前記平面的な測定光の各反射位置の高さの集合体であるプロファイルを取得するプロファイル取得部と を有し、 前記導光光学系は、 前記平面的な測定光を偏向するミラーであって、前記平面的な測定光の反射方向を変更可能なミラーと、 前記ミラーを駆動することで前記ミラーの反射方向を変更する駆動部と、 前記ミラーに対する外部からの振動または、前記ミラーの角度を変更したときに前記ミラーの角度が目標角度で安定するまでに前記ミラーに生じる振動を検知する検知部と、 前記検知部の検知結果に基づき前記ミラーの振動が収束するように前記駆動部を制御する制御部と を有することを特徴とするプロファイル測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  H02P 25/032

FI (2件)：

G01B11/24 K ,  H02P25/032

Fターム (31件)：

2F065AA04 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065DD14 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065LL62 ,  2F065MM03 ,  2F065MM16 ,  2F065NN00 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR05 ,  2F065SS04 ,  2F065UU06 ,  5H540AA10 ,  5H540BA06 ,  5H540BB06 ,  5H540EE05 ,  5H540EE13 ,  5H540FA03 ,  5H540FA13 ,  5H540FC02