特許

J-GLOBAL ID：202003005013129148

検査装置及び検査方法

発明者： 河井 友彦
出願人/特許権者： 第一実業株式会社
代理人 (3件)： 泉 通博 ,  久恒 京範 ,  寺川 賢祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-212131
公開番号（公開出願番号）：特開2020-079720
出願日： 2018年11月12日
公開日（公表日）： 2020年05月28日
要約：

【課題】被検査物の不具合を検出する精度を向上させる。【解決手段】検査装置Sは、光を透過する被検査物Uを固定するための固定部1と、固定部1の後方に設けられた平面部材2と、被検査物Uと平面部材2との間の空間に平面部材2の色と異なる色の光を照射する光照射部3と、被検査物Uの前方から被検査物Uを撮影することにより第1撮像画像を生成する第1撮像部4と、第1撮像画像に含まれる複数の画素の画素値に基づいて被検査物Uの良否を判定する判定部742と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光を透過する被検査物を固定するための固定部と、 前記固定部の後方に設けられた平面部材と、 前記被検査物と前記平面部材との間の空間に前記平面部材の色と異なる色の光を照射する光照射部と、 前記被検査物の前方から前記被検査物を撮影することにより第1撮像画像を生成する第1撮像部と、 前記第1撮像画像に含まれる複数の画素の画素値に基づいて前記被検査物の良否を判定する判定部と、 を有する検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/958 ,  G01M 11/00

FI (2件)：

G01N21/958 ,  G01M11/00 L

Fターム (19件)：

2G051AA11 ,  2G051AA90 ,  2G051AB03 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB02 ,  2G051CB05 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051ED08 ,  2G051ED11 ,  2G086FF05