特許
J-GLOBAL ID：202003005222582399
静圧スライダおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-169537
公開番号（公開出願番号）：特開2018-035879
特許番号：特許第6702827号
出願日： 2016年08月31日
公開日（公表日）： 2018年03月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1端から第2端に掛けて延びる、セラミックスからなる案内部材と、
セラミックスからなる可動部材とを備え、
該可動部材が、前記案内部材に沿って相対移動する静圧スライダであって、
前記案内部材は、壁部と、前記第1端および前記第2端に開口端を有し、該開口端以外が前記壁部に囲まれた流路とを備え、
前記開口端に位置する前記壁部の少なくとも一部に前記流路を狭くする方向に突出した厚肉部を有する静圧スライダ。
IPC (3件)：
F16C 32/06 ( 200 6.01)
, C04B 37/00 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
F16C 32/06 A
, C04B 37/00 A
, G03F 7/20 521
