特許
J-GLOBAL ID：202003005456722259
X線回折測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-231914
公開番号（公開出願番号）：特開2020-094874
出願日： 2018年12月11日
公開日（公表日）： 2020年06月18日
要約：
【課題】 測定対象物のX線照射点において発生する回折X線により形成されるX線回折像の、回折X線の強度分布の広がりに基づく特性値を測定するX線回折測定装置において、装置のコストアップを抑制して、測定対象物に対するX線回折測定装置の位置が一定になるよう制御することを可能にする。【解決手段】 X線出射器10及び複数のシンチレーションカウンター21を含む筐体30を、測定対象物OBの垂直方向に位置を変化させる位置制御装置5の移動ステージに取り付け、複数のシンチレーションカウンター21の中で、X線入射面の円盤状プレート20の中心からの距離が小さい側にあるシンチレーションカウンター21と大きい側にあるシンチレーションカウンター21とが検出する回折X線の強度の差がなくなるよう、移動ステージを移動させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対象とする測定対象物に向けてX線を略平行光にして出射するX線出射器と、
前記X線出射器から出射されるX線が測定対象物に照射されたとき、測定対象物にて発生する回折X線の強度を検出する複数のX線検出センサであって、前記回折X線を入射又は受光する検出箇所が、前記X線出射器から出射されるX線の光軸上の点を中心にした前記X線の光軸に垂直な平面内における所定の円の円周位置付近になるとともに、前記中心からの距離がそれぞれ異なるように配置されている複数のX線検出センサと、
前記それぞれのX線検出センサにおける前記検出箇所の前記中心からの距離が記憶され、前記中心からの距離に対する前記それぞれのX線検出センサが検出した回折X線の強度を、前記所定の円の1つの円周位置における半径方向の回折X線の強度変化として、前記強度変化に基づく特性値を計算する評価手段と、
前記X線出射器及び前記複数のX線検出センサを含む筐体とを備えたX線回折測定装置において、
前記複数のX線検出センサの中で、前記検出箇所の前記中心からの距離が小さい側にあるX線検出センサと大きい側にあるX線検出センサとが検出する回折X線の強度の差がなくなるよう、前記測定対象物に対する前記筐体の位置を制御する位置制御手段を備えたことを特徴とするX線回折測定装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N23/205
, G01N23/2055 310
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001FA18
, 2G001GA06
, 2G001JA09
, 2G001KA12
, 2G001LA02
, 2G001MA05
, 2G001PA11
