特許

J-GLOBAL ID：202003005617278370

ミロー型の干渉対物レンズ

発明者： ハンス-マーティン ホイク ,  フランク アイゼンクレーマー
出願人/特許権者： ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (5件)： アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  森田 拓 ,  前川 純一 ,  二宮 浩康 ,  上島 類
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-522027
特許番号：特許第6732904号
出願日： 2016年10月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ミロー型の干渉対物レンズ(1)であって、 対物レンズ内レンズ(2)、 入射光線を試料光路(7)と参照光路(6)とに分割するための、検査すべき対象物(5)と、前記試料光路(7)を前記検査すべき対象物(5)に焦点合わせする前記対物レンズ内レンズ(2)と、の間に配置されている分離素子(4)、および 前記分離素子(4)と前記対物レンズ内レンズ(2)との間に配置されている、前記参照光路(6)を反射させるためのミラー素子(3)、 を有しているミロー型の干渉対物レンズ(1)において、 前記干渉対物レンズ(1)は、位相シフト補償素子を有しており、前記位相シフト補償素子は、前記参照光路(6)と、前記参照光路(6)に重畳された前記試料光路(7)と、の間の波長依存性の位相シフトを補償することを特徴とする、 干渉対物レンズ(1)。

IPC (3件)：

G02B 21/02 ( 200 6.01) ,  G02B 21/00 ( 200 6.01) ,  G02B 5/08 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G02B 21/02 Z ,  G02B 21/00 ,  G02B 5/08 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-151501
  
• 干渉対物レンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-218413   出願人：株式会社ニコン
• 非接触段差測定方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-349255   出願人：三菱電機株式会社