特許

J-GLOBAL ID：202003005828820279

顕微鏡

発明者： 片山 建二
出願人/特許権者： 学校法人 中央大学
代理人 (4件)： 杉村 憲司 ,  杉村 光嗣 ,  鈴木 治 ,  吉澤 雄郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-034641
公開番号（公開出願番号）：特開2020-140037
出願日： 2019年02月27日
公開日（公表日）： 2020年09月03日
要約：

【課題】光デバイスにおいて、生成されたキャリヤのライフタイム及び空間的な移動特性を容易に把握する顕微鏡を提供する。【解決手段】顕微鏡1は、観測対象である試料50においてキャリヤを生成させる励起光を射出する第1光源11と、試料50に照射する照明光を射出する第2光源12と、励起光を所定の空間的な分布にパターン化してパターン化された励起光を生成するパターン制御器16と、パターン化された励起光が試料50に照射された所定時間後に照明光が試料50に照射されるように第1光源11が励起光を照射するタイミング及び第2光源12が照明光を照射するタイミングを制御する時間制御器24と、パターン化された励起光によって生成されたキャリヤに基づく試料50の屈折率変化の分布に応じてパターン化された照明光を撮像する撮像装置22と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

観測対象である試料においてキャリヤを生成させる励起光を射出する第1光源と、 前記試料に照射する照明光を射出する第2光源と、 前記励起光を所定の空間的な分布にパターン化してパターン化された励起光を生成するパターン制御器と、 前記パターン化された励起光が前記試料に照射された所定時間後に、前記照明光が前記試料に照射されるように、前記第1光源が前記励起光を照射するタイミング及び前記第2光源が前記照明光を照射するタイミングを制御する時間制御器と、 前記パターン化された励起光によって生成された前記キャリヤに基づく前記試料の屈折率変化の分布に応じてパターン化された照明光を撮像する撮像装置と、を備える顕微鏡。

IPC (6件)：

G02B 21/06 ,  H01L 21/66 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/16 ,  G01N 21/45 ,  G01N 21/00

FI (7件)：

G02B21/06 ,  H01L21/66 M ,  H01L21/66 X ,  G02B21/00 ,  G02B21/16 ,  G01N21/45 Z ,  G01N21/00 B

Fターム (24件)：

2G059AA05 ,  2G059BB16 ,  2G059CC01 ,  2G059EE04 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2H052AA09 ,  2H052AC05 ,  2H052AC12 ,  2H052AC14 ,  2H052AC18 ,  2H052AC34 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25 ,  4M106AB09 ,  4M106BA05 ,  4M106BA07 ,  4M106CB11 ,  4M106CB12 ,  4M106DH12 ,  4M106DH32