フレキシブル発光デバイスの製造方法および製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：奥田誠司 , 喜多修市 , 山下亮司 , 三宅章子 , 村瀬成康 , 北倫子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018017904
公開番号（公開出願番号）：WO2019-215835
出願日： 2018年05月09日
公開日（公表日）： 2019年11月14日
要約：

本開示のフレキシブル発光デバイスの製造方法によれば、積層構造体(100)の樹脂膜(30)の中間領域(30i)とフレキシブル基板領域(30d)とを分割した後、フレキシブル基板領域(30d)とガラスベース(10)との界面を剥離光で照射する。積層構造体(100)をステージ(212)に接触させた状態で、積層構造体(100)を第1部分(110)と第2部分(120)とに分離する。第1部分(110)は、ステージ(212)に接触した複数の発光デバイス(1000)を含み、発光デバイス(1000)は、複数の機能層領域(20)とフレキシブル基板領域(30d)を有する。第2部分(120)は、ガラスベース(10)と中間領域(30i)とを含む。

請求項（抜粋）：

第1の表面と第2の表面とを有する積層構造体であって、前記第1の表面を規定するガラスベース; それぞれがTFT層および発光素子層を含む複数の機能層領域; 前記ガラスベースと前記複数の機能層領域との間に位置して前記ガラスベースに固着している合成樹脂フィルムであって、前記複数の機能層領域をそれぞれ支持している複数のフレキシブル基板領域と、前記複数のフレキシブル基板領域を囲む中間領域とを含む合成樹脂フィルム;および、前記複数の機能層領域を覆い、前記第2の表面を規定する保護シート; を備える積層構造体を用意する工程と、前記合成樹脂フィルムの前記中間領域と前記複数のフレキシブル基板領域のそれぞれとを分割する工程と、前記合成樹脂フィルムの前記複数のフレキシブル基板領域と前記ガラスベースとの界面を剥離光で照射する工程と、前記積層構造体の前記第2の表面をステージに接触させた状態で、前記ステージから前記ガラスベースまでの距離を拡大することにより、前記積層構造体を第1部分と第2部分とに分離する工程と、を含み、前記積層構造体の前記第1部分は、前記ステージに接触した複数の発光デバイスを含み、前記複数の発光デバイスは、それぞれ、前記複数の機能層領域を有し、かつ、前記合成樹脂フィルムの前記複数のフレキシブル基板領域を有しており、前記積層構造体の前記第2部分は、前記ガラスベースと、前記合成樹脂フィルムの前記中間領域とを含む、フレキシブル発光デバイスの製造方法。

IPC (7件)：

H05B 33/10 , H01L 51/50 , H01L 27/32 , G09F 9/30 , G09F 9/33 , G09F 9/00 , H01L 33/00

FI (8件)：

H05B33/10 , H05B33/14 A , H01L27/32 , G09F9/30 338 , G09F9/30 365 , G09F9/33 , G09F9/00 338 , H01L33/00 L

Fターム (30件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107BB02 , 3K107BB08 , 3K107CC45 , 3K107DD16 , 3K107DD17 , 3K107EE61 , 3K107FF15 , 3K107GG28 , 3K107GG52 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA25 , 5C094BA27 , 5C094DA06 , 5C094GB01 , 5F142CG03 , 5F142CG06 , 5F142CG26 , 5F142EA02 , 5F142EA04 , 5F142EA34 , 5F142FA32 , 5F142GA02 , 5G435AA17 , 5G435BB04 , 5G435BB05 , 5G435KK05 , 5G435KK10

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