特許
J-GLOBAL ID:202003006119993506
部材、容器、薬液収容体、薬液の精製装置、製造タンク
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
伊東 秀明
, 三橋 史生
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2018025287
公開番号(公開出願番号):WO2019-009313
出願日: 2018年07月04日
公開日(公表日): 2019年01月10日
要約:
薬液の精製装置、及び/又は、薬液を収容する容器の接液部等に適用した場合、得られる薬液の欠陥抑制性能を長期間維持することができる部材を提供することを課題とする。また、容器、薬液収容体、薬液の精製装置、及び、製造タンクを提供することも課題とする。含フッ素重合体、及び、含フッ素界面活性剤を含有する部材であって、部材の少なくとも一部の表面において、表面における含フッ素界面活性剤の質量基準の含有量をM1、部材の表面を基準として、部材の深さ方向に10nmの位置における含フッ素界面活性剤の質量基準の含有量をM2としたとき、M1/M2が0.50〜0.90であり、表面における炭素原子の含有原子数に対するフッ素原子の含有原子数の含有原子数比X1が、0.50〜3.0である、部材。
請求項(抜粋):
含フッ素重合体と、フッ素原子を含有する界面活性剤と、を含有する部材であって、
前記部材の少なくとも一部の表面において、
前記表面における前記界面活性剤の質量基準の含有量をM1、前記表面を基準として、前記部材の深さ方向に10nmの位置における前記界面活性剤の質量基準の含有量をM2としたとき、M1/M2が0.50〜0.90であり、
前記表面における炭素原子の含有原子数に対するフッ素原子の含有原子数の含有原子数比X1が、0.5〜3.0である、部材。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (16件):
3E035AA03
, 3E035BA04
, 3E035BC02
, 3E035BC03
, 3E035BD02
, 3E035CA01
, 4F071AA26
, 4F071AA27
, 4F071AA81
, 4F071AC09
, 4F071AE10
, 4F071AH05
, 4F071BA01
, 4F071BB13
, 4F071BC02
, 4F071BC12
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