特許

J-GLOBAL ID：202003006366051955

インクの液滴量のバラツキを検査するマクロ検査装置及び方法

発明者： 宇田 満 ,  小早瀬 敦
出願人/特許権者： スミックス株式会社
代理人 (1件)： 小池 文雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-153063
公開番号（公開出願番号）：特開2020-027072
出願日： 2018年08月16日
公開日（公表日）： 2020年02月20日
要約：

【課題】インクジェット装置によって基板上に塗布された格子状のインクの液滴量のバラツキを下地等の液滴以外の影響を排除して高速及び高精度で検査可能なマクロ検査装置/方法を提供する。【解決手段】マクロ検査装置は、ステージ上の基板の表面に鉛直な軸に対して一方の側において基板表面に対して第1角度の斜め上方に位置し、基板表面に光を照射するライン光源と、基板表面に鉛直な軸に対して他方の側において基板の表面に対して第2角度の斜め上方に位置し、基板表面からの反射光を受光するラインセンサカメラと、ラインセンサカメラからの信号を処理して、基板表面に格子状に塗布されたインクの液滴量のバラツキを求めるための処理手段とを備える。ライン光源の第1角度とラインセンサカメラの第2角度は、ラインセンサカメラが基板表面に格子状に塗布されたインクの液滴以外から受光する反射光量が最小になるように設定される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の表面に格子状に塗布されたインクの液滴量のバラツキを検査するマクロ検査装置であって、 ステージ上に載置された基板の表面に鉛直な軸に対して一方の側において前記基板の表面に対して第1の角度の斜め上方に位置し、前記基板の表面に光を照射するライン光源と、 前記基板の表面に鉛直な軸に対して他方の側において前記基板の表面に対して第2の角度の斜め上方に位置し、前記基板の表面からの反射光を受光するラインセンサカメラと、 前記ラインセンサカメラからの信号を処理して、前記基板の表面に格子状に塗布されたインクの液滴量のバラツキを求めるための処理手段と、を備え、 前記ライン光源の前記第1の角度と前記ラインセンサカメラの前記第2の角度は、前記ラインセンサカメラが前記基板の表面に格子状に塗布されたインクの液滴以外から受光する反射光量が最小になるように設定される、マクロ検査装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (2件)：

G01B11/24 F ,  G01B11/24 K

Fターム (15件)：

2F065BB02 ,  2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG16 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065MM15 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ31

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 膜厚測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-242425   出願人：株式会社サンヨー・シーワィピー
• マクロ検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-026567   出願人：スミックス株式会社