特許
J-GLOBAL ID：202003006431886008
誘電体多層膜付ガラス板の製造方法及び膜付ガラス板
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-158420
公開番号（公開出願番号）：特開2018-024561
特許番号：特許第6702078号
出願日： 2016年08月12日
公開日（公表日）： 2018年02月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ガラス板の上に誘電体多層膜を形成する工程と、
前記誘電体多層膜の上に、厚み30nm以下の酸化ケイ素膜を形成して膜付ガラス板を製造する工程と、
アルカリ洗浄により、前記酸化ケイ素膜の厚みを薄くする工程とを備え、
前記誘電体多層膜の最外層が、酸化タンタルから構成されている、誘電体多層膜付ガラス板の製造方法。
IPC (4件)：
C03C 17/34 ( 200 6.01)
, B32B 7/023 ( 201 9.01)
, B32B 17/06 ( 200 6.01)
, G02B 1/115 ( 201 5.01)
C03C 17/34 Z
, B32B 7/023
, B32B 17/06
, G02B 1/115
