特許
J-GLOBAL ID：202003006487663320
ガス分析装置及びガス分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
西村 竜平
, 齊藤 真大
, 上村 喜永
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-201795
公開番号（公開出願番号）：特開2020-068177
出願日： 2018年10月26日
公開日（公表日）： 2020年04月30日
要約：
【課題】 四重極質量分析計によって測定対象物質と質量数が同一又は近い非測定対象物質とを含有する混合ガスの当該測定対象物質を定量分析する。【解決手段】 非測定対象物質となるキャリアガスを導入しながら試料が入ったるつぼを加熱し、前記試料の少なくとも一部を気化して測定対象物質を含有する試料ガスを生成し、前記キャリアガス及び前記試料ガスからなる混合ガスを導出する加熱炉を備える混合ガス生成機構と、前記混合ガス生成機構によって生成された前記混合ガスが導入される測定空間を有し、当該測定空間内において前記測定対象物質及び前記非測定対象物質にエネルギーを与えて当該測定対象物質を定量分析する四重極質量分析計と、前記測定空間内の圧力を調節する圧力調節機構とを具備し、前記圧力調整機構が、前記測定空間内において前記非測定対象物質に与えられるエネルギーを、当該非測定対象物質の下限値に応じて変化させるように圧力を調節する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
非測定対象物質となるキャリアガスを導入しながら試料が入ったるつぼを加熱し、前記試料の少なくとも一部を気化して測定対象物質を含有する試料ガスを生成し、前記キャリアガス及び前記試料ガスからなる混合ガスを導出する加熱炉を備える混合ガス生成機構と、
前記混合ガス生成機構によって生成された前記混合ガスが導入される測定空間を有し、当該測定空間内において前記測定対象物質及び前記非測定対象物質にエネルギーを与えて当該測定対象物質を定量分析する四重極質量分析計と、
前記測定空間内の圧力を調節する圧力調節機構とを具備し、
前記圧力調整機構が、前記測定空間内において前記非測定対象物質に与えられるエネルギーを、当該非測定対象物質のイオン化エネルギーの下限値に応じて変化させるように圧力を調節することを特徴とするガス分析装置。
IPC (3件)：
H01J 49/42
, G01N 31/12
, G01N 27/62
H01J49/42
, G01N31/12 A
, G01N27/62 F
2G041CA01
, 2G041FA03
, 2G041GA03
, 2G041GA15
, 2G041GA16
, 2G041GA17
, 2G041GA19
, 2G041LA08
, 2G042AA01
, 2G042BA04
, 2G042CA03
, 2G042CA04
, 2G042CB01
, 2G042DA05
, 2G042GA01
, 2G042GA03
, 5C038JJ06
, 5C038JJ11
