透過波面測定方法、装置およびシステム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：馬場資博 , 境廣巳 , 唐鎌睦 , 桂木雄二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-027836
公開番号（公開出願番号）：特開2017-146189
特許番号：特許第6730659号
出願日： 2016年02月17日
公開日（公表日）： 2017年08月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】少なくとも焦点はずし前の第一画像と焦点はずし後の第二画像とに基づいて透過波面を測定する波面測定方法であって、 a)点像を撮像することで前記第一および第二画像をそれぞれ点像応答として取得し、 b)推定される波面を用いて生成された少なくとも焦点はずし前の第一波面と焦点はずし後の第二波面とにそれぞれ対応する点像応答を計算し、 c)前記計算された点像応答と前記取得された点像応答との誤差を評価し、 d)前記誤差が縮小するように前記推定される波面を表現する多項式の少なくとも1つの係数を変更する、ことを特徴とする波面測定方法。

IPC (2件)：