特許
J-GLOBAL ID：202003007219017810
誘電体バリアプラズマ処理のための電極機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
蔵田 昌俊
, 野河 信久
, 河野 直樹
, 井上 正
, 鵜飼 健
, 飯野 茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-504102
特許番号：特許第6774064号
出願日： 2016年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 柔軟な平面状の電極(1)と、平面状の柔軟な材料からなる誘電体(2)であって、直接的な通電を妨げる層(3)を備え、前記電極(1)を処理されるべき表面から遮蔽する誘電体(2)とを有する、カウンター電極として利用される導電性の物体の表面の誘電体バリア放電プラズマ処理のための電極機構であって、
前記誘電体(2)は突起を有する構造体を介して処理されるべき表面に載置することができ、それぞれの突起の間にプラズマの形成のための空気スペースが構成され、前記構造体が、空気スペースを形成するチャンバ(9)を有する格子構造体(6)であり、前記チャンバ(9)は、直接的な通電を妨げる前記誘電体(2)の前記層(3)による底面において閉鎖され、処理されるべき表面に向かって開いた側を有しており、前記チャンバ(9)は、0.1〜1.0mmの材料厚みおよび0.5〜3mmの高さを有する壁部(7,8)に互いに接し合うことによって区切られ、処理されるべき表面上に載置するための当接面は前記格子構造体(6)の前記壁部(7,8)の端部エッジ(10)からなっており、前記壁部(7,8)の材料厚みは前記チャンバ(9)の最大の幅の20%未満を占めることを特徴とする電極機構。
IPC (4件)：
H05H 1/24 ( 200 6.01)
, A61B 17/03 ( 200 6.01)
, A61N 1/44 ( 200 6.01)
, A61N 1/40 ( 200 6.01)
H05H 1/24
, A61B 17/03
, A61N 1/44
, A61N 1/40
