圧力検出ユニット、その製造方法、および圧力検出ユニットを用いた圧力センサ並びにその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-131028
公開番号（公開出願番号）：特開2020-008467
出願日： 2018年07月10日
公開日（公表日）： 2020年01月16日
要約：

【課題】製造工数の増大を抑えつつも、圧力検出精度を高めることができる圧力検出ユニット、圧力センサを提供する。【解決手段】圧力検出ユニット100は、リードピン160等を挿入する貫通穴116のみを形成した円盤状のベース110と、前記ベース110の外周面と嵌合する円筒状内周面を備えたリング部材140と、前記リング部材140と溶接により接合される受け部材120と、前記リング部材140と前記受け部材120との間に挟まれたダイアフラム130と、前記ベース110と前記ダイアフラム130との間に形成された受圧空間S1側において、前記ベース110に取り付けられた半導体型圧力検出装置150と、前記受圧空間S1内に封入された液状媒質と、を備え、前記ベース110と前記リング部材140の嵌合部において、前記ベース110の端面と前記リング部材140の端面とが軸方向に一致しており、また前記嵌合部が全周で溶接されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

リードピンが挿入される貫通穴が形成されたベースと、前記ベースの外周面と嵌合する円筒状内周面を備えたリング部材と、前記リング部材と溶接により接合される受け部材と、前記リング部材と前記受け部材との間に挟まれたダイアフラムと、前記ベースと前記ダイアフラムとの間に形成された受圧空間内において、前記ベースに取り付けられた半導体型圧力検出装置と、前記受圧空間内に封入された液状媒質と、を備え、前記ベースと前記リング部材の嵌合部において、前記ベースの端面と前記リング部材の端面とが軸方向に一致しており、また前記嵌合部が全周で溶接されている、ことを特徴とする圧力検出ユニット。

IPC (1件)：

G01L 19/14

FI (1件)：

G01L19/14

Fターム (10件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC60 , 2F055DD20 , 2F055EE40 , 2F055FF43 , 2F055GG01 , 2F055GG12 , 2F055GG22 , 2F055GG25

引用特許：

出願人引用 (4件)

特許第5833936号
特許第5919124号
特許第6703850号

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