特許

J-GLOBAL ID：202003007645538275

流体制御器の異常検知装置、異常検知システム、異常検知方法、及び流体制御器

発明者： 原田 章弘 ,  西野 功二 ,  土肥 亮介 ,  川田 幸司 ,  杉田 勝幸 ,  池田 信一 ,  山路 道雄 ,  篠原 努 ,  丹野 竜太郎 ,  河内 勇人
出願人/特許権者： 株式会社フジキン
代理人 (4件)： 粕川 敏夫 ,  石橋 佳之夫 ,  清水 喜幹 ,  狩生 咲
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018004006
公開番号（公開出願番号）：WO2018-150949
出願日： 2018年02月06日
公開日（公表日）： 2018年08月23日
要約：

【課題】流体制御器において、流体の漏出が僅かな場合でも漏出を検知可能とする。また、情報通信技術を活用することにより、離れた場所にある流体制御器や複数の流体制御器における流体の漏出異常を監視し易いものとする。【解決手段】流体が流通可能な流路211と、隔離部材により流路211と隔離された閉空間Sと、閉空間Sと外部を連通可能なリークポートLPと、が設けられた流体制御器2の異常を検知する異常検知装置1は、閉空間S内の圧力を検出する圧力センサ11と、所定の情報処理を実行する処理モジュールと、リークポートLPに圧力センサ11を着脱可能に固定すると共に、固定状態においてリークポートLPを外部と遮断する着脱機構とを有する。処理モジュールは、圧力センサ11により検出した検出値と所定の閾値を比較することにより、流体制御器2の異常を判別し、流体制御器2の異常の判別結果をサーバに送信する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

流路と、隔離部材により当該流路と隔離された閉空間と、当該閉空間と外部を連通可能なリークポートと、が設けられた流体制御器の異常を検知する装置であって、 前記閉空間内の圧力を検出する圧力センサと、 所定の情報処理を実行する処理モジュールと、 前記リークポートに前記圧力センサを着脱可能に固定すると共に、固定状態において前記リークポートを外部と遮断する着脱機構と、を有し、 前記処理モジュールは、 前記圧力センサにより検出した検出値と所定の閾値を比較することにより、前記流体制御器の異常を判別する判別処理と、 前記流体制御器の異常の判別結果をサーバに送信する通信処理と、を実行する、 流体制御器の異常検知装置。

IPC (1件)：

G01M 3/26

FI (1件)：

G01M3/26 M

Fターム (5件)：

2G067AA37 ,  2G067BB22 ,  2G067DD02 ,  2G067EE10 ,  2G067EE13