特許
J-GLOBAL ID：202003007892228270
面状のガラス部材から部分片をレーザアシストにより切り離すための方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, 森田 拓
, 前川 純一
, 二宮 浩康
, 上島 類
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-501293
特許番号：特許第6768781号
出願日： 2016年07月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 切り離すべき部分片(4)と残留させるべき主部(3)とに、少なくとも2mmの厚さを有する面状のガラス部材(2)を分ける所定の分割線(21)に沿って、前記ガラス部材(2)から前記部分片(4)を切り離す方法であって、
前記ガラス部材(2)の体積に、線条状の傷(20)をサブミクロン中空チャネルとして、前記分割線(21)に沿って並べて形成し、
前記線条状の傷(20)を超短パルスレーザ(10)のレーザパルス(12)によって形成し、前記ガラス部材(2)の材料は、前記レーザパルス(12)に対して透過性であり、
前記レーザパルス(12)は、前記ガラス部材(2)の体積においてプラズマを生成し、前記プラズマは、前記線条状の傷(20)を形成し、
前記ガラス部材(2)上における前記レーザパルス(12)の入射点(13)を前記ガラス部材(2)の表面(22)上において前記分割線(21)に沿って移動させ、
前記分割線(21)に沿って並んで配置された前記線条状の傷(20)を入れた後、前記部分片(4)と前記主部(3)とをそれぞれ完全体として維持しながら、並んだ前記線条状の傷(20)において前記部分片(4)を前記分割線(21)に沿って前記主部(3)から引き離すように、前記ガラス部材(2)の前記主部(3)の領域を加熱して膨張させ、および/または、前記ガラス部材(2)の前記部分片(4)の領域を冷却して圧縮させ、
前記ガラス部材(2)の前記主部(3)の領域を加熱して膨張させ、前記部分片(4)が前記分割線(21)に沿って、複数の並んだ前記線条状の傷(20)において前記主部(3)から引き離された後に、行った前記加熱を利用して前記主部(3)を熱強化処理する、
方法。
IPC (2件)：
C03B 33/09 ( 200 6.01)
, B23K 26/359 ( 201 4.01)
