特許
J-GLOBAL ID:202003007942082744
固体撮像装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人つばさ国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-199328
公開番号(公開出願番号):特開2020-068267
出願日: 2018年10月23日
公開日(公表日): 2020年04月30日
要約:
【課題】kTCノイズの更なる低減が可能な固体撮像装置を提供する。【解決手段】本開示の一実施の形態に係る固体撮像装置は、光電変換素子と、転送トランジスタと、フローティングディフュージョンと、リセットトランジスタと、増幅トランジスタと、選択トランジスタとを備えている。リセットトランジスタのゲート絶縁膜は、転送トランジスタのゲート絶縁膜よりも薄く形成されている。【選択図】図4
請求項(抜粋):
入射光を光電変換する光電変換素子と、
前記光電変換素子と電気的に接続された転送トランジスタと、
前記転送トランジスタを介して前記光電変換素子から出力された電荷を一時的に保持するフローティングディフュージョンと、
前記フローティングディフュージョンの電位を所定の電位にリセットするリセットトランジスタと、
前記フローティングディフュージョンに保持された電荷のレベルに応じた電圧の画素信号を生成する増幅トランジスタと、
前記増幅トランジスタからの前記画素信号の出力タイミングを制御する選択トランジスタと
を備え、
前記リセットトランジスタのゲート絶縁膜は、前記転送トランジスタのゲート絶縁膜よりも薄く形成されている
固体撮像装置。
IPC (3件):
H01L 27/146
, H04N 5/335
, H04N 5/374
FI (3件):
H01L27/146 A
, H04N5/335
, H04N5/374
Fターム (15件):
4M118AA05
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118DD04
, 4M118DD09
, 4M118FA06
, 4M118FA33
, 4M118GD03
, 5C024CX03
, 5C024CY47
, 5C024GX01
, 5C024GX16
, 5C024GY31
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