特許
J-GLOBAL ID：202003008299290616
除電装置および除電方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-255282
公開番号（公開出願番号）：特開2018-107077
特許番号：特許第6770428号
出願日： 2016年12月28日
公開日（公表日）： 2018年07月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 帯電した基板に対して、その帯電量を低減する処理を行う除電装置であって、
基板を保持する基板保持手段と、
基板の主面を分割した複数の領域の相互間について異なる照射量で、基板の前記複数の領域に対して紫外線を照射可能な紫外線照射手段と、
を備える、除電装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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