特許
J-GLOBAL ID:202003008388063577
樹脂組成物用のエッチング液及びエッチング方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
恩田 誠
, 恩田 博宣
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2018014156
公開番号(公開出願番号):WO2018-186362
出願日: 2018年04月02日
公開日(公表日): 2018年10月11日
要約:
アルカリ不溶性樹脂及び無機充填剤を含む樹脂組成物を除去する加工において、該樹脂組成物を含有してなる樹脂組成物層の過度な発熱による欠点の発生が無く、樹脂組成物層だけを除去することができるエッチング液又はエッチング方法を提供することが本発明の課題である。アルカリ不溶性樹脂及び50〜80質量%の無機充填剤を含む樹脂組成物用のエッチング液において、該エッチング液が、15〜45質量%のアルカリ金属水酸化物を含有し、より好ましくは、さらに、5〜40質量%のエタノールアミン化合物を含有するエッチング液。また、該エッチング液を使用して、アルカリ不溶性樹脂及び無機充填剤を含む樹脂組成物を除去するエッチング方法。
請求項(抜粋):
アルカリ不溶性樹脂及び50〜80質量%の無機充填剤を含む樹脂組成物用のエッチング液において、該エッチング液が、15〜45質量%のアルカリ金属水酸化物を含有することを特徴とするエッチング液。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (21件):
4F073AA06
, 4F073BA22
, 4F073BA47
, 4F073BB01
, 4F073EA11
, 4F073EA21
, 4F073EA24
, 4F073EA42
, 4F073EA62
, 4F073HA05
, 4F073HA09
, 5E339AB02
, 5E339AD01
, 5E339BC02
, 5E339BD11
, 5E339BE11
, 5E339CD01
, 5E339CE02
, 5E339CE12
, 5E339EE02
, 5E339GG02
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