特許
J-GLOBAL ID：202003008640694160
気圧センサ、気圧測定方法および気圧測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸山 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-243650
公開番号（公開出願番号）：特開2020-106336
出願日： 2018年12月26日
公開日（公表日）： 2020年07月09日
要約：
【課題】高温環境下で使用可能な気圧センサ、気圧測定方法および気圧測定装置を提供する。【解決手段】気圧センサ1を酸化物セラミックからなるセンサ素子8で構成する。酸化物セラミックは、一定温度以上の環境下において、周囲の酸素分圧に応じて酸素イオンを吸収・放出する性質を持つとともに、圧力の増減に伴ってその抵抗値が変化する。よって、気圧センサ1を、測定対象ガスを含む高温環境下に設置した場合、抵抗値変化に伴う電流値の変化をもとに、測定対象ガスの圧力を測定できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
酸化物セラミックからなるセンサ素子と、
前記センサ素子の両端に設けた一対の電極と、
を備え、
前記センサ素子の抵抗値は測定対象に含まれる特定の気体の分圧に連動して変化することを特徴とする気圧センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2F055AA39
, 2F055BB19
, 2F055CC59
, 2F055DD09
, 2F055EE18
, 2F055FF38
, 2F055GG49
