特許
J-GLOBAL ID：202003008674119393
基板トレイ返送装置、基板トレイ返送方法及び全自動塗布機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人航栄特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-552075
公開番号（公開出願番号）：特表2020-507534
出願日： 2018年07月24日
公開日（公表日）： 2020年03月12日
要約：
本発明は、基板トレイ搬送機構及び基板トレイ昇降・返送機構を備える基板トレイ返送装置を提供する。基板トレイ搬送機構は、塗布手段の底部に配置され、且つ塗布手段の入口端と出口端にはそれぞれ1つの基板トレイ昇降・返送機構が配置される。塗布手段の入口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、基板トレイ搬送機構によって返送された基板トレイを受け取り、そして基板トレイを塗布手段中の搬送ベルトに搬送するように配置される。塗布手段の出口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、搬送ベルトによって搬出された基板トレイを受け取り、そして基板トレイを基板トレイ搬送機構に搬送するように配置される。
請求項（抜粋）：
基板トレイ搬送機構(1)及び基板トレイ昇降・返送機構(2)を備え、
前記基板トレイ搬送機構(1)は塗布手段(3)の底部に配置され、且つ塗布手段の入口端(X1)と出口端(X2)には、それぞれ1つの基板トレイ昇降・返送機構(2)が配置され、
前記塗布手段の入口端(X1)に位置する基板トレイ昇降・返送機構(2)は、前記基板トレイ搬送機構(1)によって返送された基板トレイ(15)を受け取り、そして基板トレイ(15)を前記塗布手段(3)中の前記搬送ベルト(4)に搬送するように配置され、
前記塗布手段の出口端(X2)に位置する基板トレイ昇降・返送機構(2)は、前記搬送ベルト(4)によって搬出された基板トレイ(15)を受け取り、そして前記基板トレイ(15)を前記基板トレイ搬送機構(1)上に搬送するように配置される、
ことを特徴とする基板トレイ返送装置。
IPC (4件)：
B65G 35/06
, H01L 21/677
, C23C 14/56
, B65G 49/06
B65G35/06 K
, H01L21/68 A
, C23C14/56 G
, B65G35/06 G
, B65G49/06 Z
4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029CA05
, 4K029DC39
, 4K029KA01
, 5F131AA03
, 5F131BA03
, 5F131BB13
, 5F131CA39
, 5F131CA42
, 5F131DA02
, 5F131DA05
, 5F131DA33
, 5F131DA34
, 5F131DA42
, 5F131DC22
, 5F131DC23
, 5F131GA05
, 5F131GA22
, 5F131GA32
