特許

J-GLOBAL ID：202003008740422418

検査装置及び検査方法

発明者： 河井 友彦
出願人/特許権者： 第一実業株式会社
代理人 (3件)： 泉 通博 ,  久恒 京範 ,  寺川 賢祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-212017
公開番号（公開出願番号）：特開2020-079715
出願日： 2018年11月12日
公開日（公表日）： 2020年05月28日
要約：

【課題】被検査物における複数の異なる部位の検査の質を向上させる。【解決手段】検査装置1は、被検査物2を検査するための検査装置であって、被検査物2が載置される円形の載置領域124と、載置領域124よりも内径が大きい円形の開口125を有する上面と、載置領域124と開口125との間に形成されており、載置領域124に載置された被検査物2の外側面から到来する光を上方に反射する斜面123と、を有する反射部材12と、反射部材12の上方に設けられており、被検査物2の上端及び反射部材12の斜面123を撮像することにより、被検査物2の上端を示す上端画像及び被検査物2の外側面を示す外側面画像を含む撮像画像を生成する撮像部13と、上端画像及び外側面画像をそれぞれ異なる方式で解析することにより被検査物2の形状を検査する解析部14と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査物を検査するための検査装置であって、 前記被検査物が載置される円形の載置領域と、前記載置領域よりも内径が大きい円形の開口を有する上面と、前記載置領域と前記開口との間に形成されており、前記載置領域に載置された前記被検査物の外側面から到来する光を上方に反射する斜面と、を有する反射部材と、 前記反射部材の上方に設けられており、前記被検査物の上端及び前記反射部材の斜面を撮像することにより、前記被検査物の上端を示す上端画像及び前記被検査物の外側面を示す外側面画像を含む撮像画像を生成する撮像部と、 前記上端画像及び前記外側面画像をそれぞれ異なる方式で解析することにより前記被検査物の形状を検査する解析部と、 を有する検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/952

FI (1件)：

G01N21/952

Fターム (8件)：

2G051AA90 ,  2G051AB08 ,  2G051CA04 ,  2G051CC11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051ED11 ,  2G051FA02