特許
J-GLOBAL ID:202003009436769475
気体状組成物の分析方法および分析システム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
棚井 澄雄
, 寺本 光生
, 勝俣 智夫
, 山口 洋
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-198357
公開番号(公開出願番号):特開2020-067296
出願日: 2018年10月22日
公開日(公表日): 2020年04月30日
要約:
【課題】真空紫外1光子イオン化質量分析において気体状組成物を精度よく定量することが可能な気体状組成物の分析方法および分析システムを提供すること。【解決手段】本発明に係る気体状組成物の分析方法は、気体状組成物中の対象物質の濃度を真空紫外1光子イオン化質量分析により測定する気体状組成物の分析方法であって、前記気体状組成物を用いて所定濃度の前記対象物質の標準試料を調製する試料調製工程と、前記標準試料中の前記対象物質について真空紫外1光子イオン化質量分析に関する検量線を作成する検量線作成工程と、を有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
気体状組成物中の対象物質の濃度を真空紫外1光子イオン化質量分析により測定する気体状組成物の分析方法であって、
前記気体状組成物を用いて所定濃度の前記対象物質の標準試料を調製する試料調製工程と、
前記標準試料中の前記対象物質について真空紫外1光子イオン化質量分析に関する検量線を作成する検量線作成工程と、を有する、気体状組成物の分析方法。
IPC (3件):
G01N 27/62
, G01N 27/64
, G01N 1/00
FI (4件):
G01N27/62 D
, G01N27/62 V
, G01N27/64 B
, G01N1/00 102D
Fターム (22件):
2G041AA09
, 2G041CA01
, 2G041DA03
, 2G041EA07
, 2G041EA12
, 2G041GA06
, 2G041GA19
, 2G041JA13
, 2G041LA09
, 2G052AA02
, 2G052AA39
, 2G052AC19
, 2G052AC20
, 2G052AC23
, 2G052AD02
, 2G052AD22
, 2G052AD42
, 2G052GA15
, 2G052GA24
, 2G052JA09
, 2G052JA11
, 2G052JA18
引用特許:
引用文献:
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