特許

J-GLOBAL ID：202003009547486740

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法

発明者： 小川 倫弘 ,  金子 明弘 ,  川島 敬史 ,  土村 智孝
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 伊東 秀明 ,  三橋 史生
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018026910
公開番号（公開出願番号）：WO2019-044231
出願日： 2018年07月18日
公開日（公表日）： 2019年03月07日
要約：

高感度であり、且つ、形成されるパターンがLER及び倒れ抑制能に優れる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供する。また、上記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いたレジスト膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法を提供する。感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、酸の作用により極性が増大する樹脂と、を含む感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、上記樹脂が、下記一般式(B-1)で表される繰り返し単位と、フッ素原子及びヨウ素原子からなる群より選ばれる少なくとも1つのハロゲン原子と、を含む。

請求項（抜粋）：

活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、 酸の作用により極性が増大する樹脂と、を含む感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、 前記樹脂が、 下記一般式(B-1)で表される繰り返し単位と、 フッ素原子及びヨウ素原子からなる群より選ばれる少なくとも1つのハロゲン原子と、を含む、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 ,  C08F 220/10 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

G03F7/039 601 ,  C08F220/10 ,  G03F7/20 521

Fターム (107件)：

2H197AA12 ,  2H197CA03 ,  2H197CA05 ,  2H197CA06 ,  2H197CA08 ,  2H197CA09 ,  2H197CA10 ,  2H197CE01 ,  2H197CE10 ,  2H197GA01 ,  2H197HA03 ,  2H197JA22 ,  2H225AF15P ,  2H225AF16P ,  2H225AF19P ,  2H225AF23P ,  2H225AF24P ,  2H225AF27P ,  2H225AF28P ,  2H225AF52P ,  2H225AF53P ,  2H225AF54P ,  2H225AF56P ,  2H225AF64P ,  2H225AF66P ,  2H225AF67P ,  2H225AF68P ,  2H225AF69P ,  2H225AF70P ,  2H225AF71P ,  2H225AF73P ,  2H225AF75P ,  2H225AF92P ,  2H225AF94P ,  2H225AH03 ,  2H225AH12 ,  2H225AH19 ,  2H225AH31 ,  2H225AH38 ,  2H225AH39 ,  2H225AH50 ,  2H225AJ02 ,  2H225AJ04 ,  2H225AJ13 ,  2H225AJ16 ,  2H225AJ42 ,  2H225AJ47 ,  2H225AJ48 ,  2H225AJ53 ,  2H225AJ54 ,  2H225AJ58 ,  2H225AJ60 ,  2H225AJ63 ,  2H225AJ64 ,  2H225AM99P ,  2H225AN38P ,  2H225AN39P ,  2H225AN42P ,  2H225AN54P ,  2H225AN57P ,  2H225AN63P ,  2H225AN86P ,  2H225BA01P ,  2H225BA26P ,  2H225BA32P ,  2H225BA33P ,  2H225CA12 ,  2H225CB14 ,  2H225CC03 ,  2H225CC15 ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AB10P ,  4J100AB10Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL19P ,  4J100AL19Q ,  4J100AL19R ,  4J100AL21P ,  4J100AL21Q ,  4J100AL21R ,  4J100AL24R ,  4J100AL26R ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA05Q ,  4J100BB05P ,  4J100BB05R ,  4J100BB07P ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100BB18R ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC43P ,  4J100BC43Q ,  4J100BC43R ,  4J100BC53R ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38