特許
J-GLOBAL ID：202003010175337791
積層フィルム及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 清水 義憲
, 三上 敬史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-070410
公開番号（公開出願番号）：特開2017-177640
特許番号：特許第6691803号
出願日： 2016年03月31日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 樹脂基材上に、ガスバリア層と無機ポリマー層とが少なくとも積層された積層フィルムであって、
前記無機ポリマー層の膜厚方向における該層の表面からの距離と珪素原子、酸素原子、炭素原子及び窒素原子の合計量に対する酸素原子の比率(酸素原子比)について、前記ガスバリア層とは反対側の表面から深さ方向に無機ポリマー層の膜厚の30%までの領域における酸素原子比O/(Si、O、C及びNの合計量)の値の、深さ方向に無機ポリマー層の膜厚の30%から前記ガスバリア層側の表面までの領域における酸素原子比O/(Si、O、C及びNの合計量)の値に対する比が1.05以上であり、
水蒸気透過度が1.7×10-5g/m2/day以下であり、
前記無機ポリマー層の前記ガスバリア層とは反対側の表面の算術平均表面粗さが1.3nm以下である、積層フィルム。
IPC (3件)：
B32B 9/00 ( 200 6.01)
, B32B 27/16 ( 200 6.01)
, C23C 16/42 ( 200 6.01)
B32B 9/00 A
, B32B 27/16 101
, C23C 16/42
