特許
J-GLOBAL ID:202003010369947450

熱式流量計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人平木国際特許事務所
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2018026641
公開番号(公開出願番号):WO2019-049513
出願日: 2018年07月17日
公開日(公表日): 2019年03月14日
要約:
流量精度の低下及び信頼性の低下、また、熱式流量計のコスト増加を従来よりも低減させ、静電気散逸機構を機能追加することができる熱式流量計を提供する。 本発明の熱式流量計1は、主通路を流れる被計測気体5の一部を取り込む副通路200と、副通路200内に配置される流量計測部300の流量検出素子と、流量検出素子を支持する回路パッケージ301と、回路パッケージ301が固定される回路基板101とを有する。流量検出素子は、被計測気体の流量を検出する検出面を有し、検出面が回路基板101に対向して配置される。回路基板101は、流量検出素子の検出面に対向する位置に、GND電位の配線309が配置されている。
請求項(抜粋):
主通路に取り付けられる熱式流量計であって、 前記主通路を流れる被計測気体の一部を取り込む副通路と、 該副通路内に配置される流量検出素子と、 該流量検出素子を支持する支持体と、 該支持体が固定される回路基板と、を有し、 前記流量検出素子は、前記被計測気体の流量を検出する検出面を有し、該検出面が前記回路基板に対向して配置される熱式流量計。
IPC (1件):
G01F 1/684
FI (1件):
G01F1/684 B
Fターム (4件):
2F035AA02 ,  2F035EA03 ,  2F035EA08 ,  2F035EA10

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