特許

J-GLOBAL ID：202003010594969889

バナジウム含有材料用エッチング液組成物及びエッチング方法

発明者： 大津 猛 ,  齋尾 佳秀 ,  大宮 大輔
出願人/特許権者： 株式会社ADEKA
代理人 (4件)： 近藤 利英子 ,  菅野 重慶 ,  竹山 圭太 ,  岡田 薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-237333
公開番号（公開出願番号）：特開2020-097773
出願日： 2018年12月19日
公開日（公表日）： 2020年06月25日
要約：

【課題】バナジウム含有材料を速やかにエッチングすることができるとともに、エッチングにより形成される被エッチング体が剥がれにくいバナジウム含有材料用エッチング液組成物、及びそれを用いたエッチング方法を提供する。【解決手段】(A)硝酸0.1〜30質量%、(B)硫酸0.1〜30質量%、(C)有機カルボン酸化合物0.1〜30質量%、及び水を含有する水溶液であるバナジウム含有材料用エッチング液組成物である。このバナジウム含有材料用エッチング液組成物を用いて基体上のバナジウム含有材料をエッチングする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)硝酸0.1〜30質量%、 (B)硫酸0.1〜30質量%、 (C)有機カルボン酸化合物0.1〜30質量%、 及び水を含有する水溶液であるバナジウム含有材料用エッチング液組成物。

IPC (2件)：

C23F 1/26 ,  H01L 21/308

FI (2件)：

C23F1/26 ,  H01L21/308 F

Fターム (14件)：

4K057WA10 ,  4K057WA13 ,  4K057WA20 ,  4K057WB08 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE07 ,  4K057WE11 ,  4K057WF06 ,  4K057WN01 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043GG02 ,  5F043GG10