特許
J-GLOBAL ID：202003010746441311
MEMSスイッチ及び電子機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 三上 敬史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-191951
公開番号（公開出願番号）：特開2018-056001
特許番号：特許第6705351号
出願日： 2016年09月29日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】圧電素子により、変位可能な第1端子と、
前記第1端子に対向し、前記第1端子と導通可能な位置に配置された第2端子と、
前記第1及び第2端子の一方に設けられた接触端子と、
前記第1端子の移動速度を減衰させるダンパー要素と、
を備え、
前記ダンパー要素は、
前記第1端子に固定された第1薄膜領域と、
前記第1薄膜領域の移動方向の延長線上に位置する第2薄膜領域と、
前記第1薄膜領域と前記第2薄膜領域との間に介在する気体と、
を備え、
平面視において、前記ダンパー要素は、前記圧電素子及び前記接触端子の双方から離れる方向に広がっている、
ことを特徴とするMEMSスイッチ。
IPC (2件)：
H01H 57/00 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
