特許

J-GLOBAL ID：202003011052287931

イオンビームの荷電変換方法

発明者： 村上 睦明 ,  立花 正満 ,  多々見 篤
出願人/特許権者： 株式会社カネカ
代理人 (5件)： 特許業務法人アスフィ国際特許事務所 ,  植木 久一 ,  植木 久彦 ,  菅河 忠志 ,  伊藤 浩彰
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-512574
特許番号：特許第6683687号
出願日： 2016年04月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 炭素成分が96原子%以上、25°Cにおける膜面方向の熱伝導率が800W/mK以上のグラファイト質膜の単層体又は前記グラファイト質膜の積層体であり、厚さが10μm未満、100nm以上である荷電変換膜の略中央部分に、イオンビームを照射して、イオンから電子を取り除くイオンビームの荷電変換方法。

IPC (3件)：

G21K 1/14 ( 200 6.01) ,  C01B 32/205 ( 201 7.01) ,  B32B 9/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G21K 1/14 ,  C01B 32/205 ,  B32B 9/00 A

引用特許：

出願人引用 (2件)

• イオンビームの強度プロフィールを整形する複数のフォイル
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-537086   出願人：ザ・ユニバーシティ・オブ・アルバータ,ザ・ユニバーシティ・オブ・ブリティッシュ・コロンビア,カールトン・ユニバーシティ,サイモン・フレイザー・ユニバーシティ,ザ・ユニバーシティ・オブ・ビクトリア,ドゥ
• 荷電変換用デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-104606   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

審査官引用 (2件)

• イオンビームの強度プロフィールを整形する複数のフォイル
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-537086   出願人：ザ・ユニバーシティ・オブ・アルバータ,ザ・ユニバーシティ・オブ・ブリティッシュ・コロンビア,カールトン・ユニバーシティ,サイモン・フレイザー・ユニバーシティ,ザ・ユニバーシティ・オブ・ビクトリア,ドゥ
• 荷電変換用デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-104606   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所