特許

J-GLOBAL ID：202003011177576757

感光性樹脂組成物、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、半導体デバイスおよび化合物

発明者： 川端 健志 ,  吉田 健太 ,  岩井 悠 ,  渋谷 明規
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018021347
公開番号（公開出願番号）：WO2018-225676
出願日： 2018年06月04日
公開日（公表日）： 2018年12月13日
要約：

保存安定性に優れ、感度の高い感光性樹脂組成物、ならびに、感光性樹脂組成物を用いた硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、半導体デバイスを提供する。また、感光性樹脂組成物を形成するために用いる新規な化合物を提供する。ポリイミド前駆体およびポリベンゾオキサゾール前駆体から選択されるポリマー前駆体と、硫黄原子を有するラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤と、溶剤とを含む感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

ポリイミド前駆体およびポリベンゾオキサゾール前駆体から選択されるポリマー前駆体と、 硫黄原子を有するラジカル重合性化合物と、 光ラジカル重合開始剤と、 溶剤と を含む感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/038 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/20 ,  C08G 69/26 ,  C08G 73/22 ,  C08F 20/38 ,  B32B 27/34

FI (10件)：

G03F7/038 504 ,  G03F7/027 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521 ,  C08G69/26 ,  C08G73/22 ,  C08F20/38 ,  B32B27/34

Fターム (166件)：

2H197CA05 ,  2H197CE01 ,  2H197HA03 ,  2H225AC11 ,  2H225AC31 ,  2H225AC35 ,  2H225AC38 ,  2H225AC63 ,  2H225AC66 ,  2H225AC68 ,  2H225AC79 ,  2H225AD06 ,  2H225AD34 ,  2H225AG00P ,  2H225AN02P ,  2H225AN22P ,  2H225AN54P ,  2H225AN57P ,  2H225AN65P ,  2H225AN67P ,  2H225AN73P ,  2H225AN82P ,  2H225AN84P ,  2H225BA01P ,  2H225BA05P ,  2H225BA09P ,  2H225CA12 ,  2H225CB05 ,  2H225CC01 ,  2H225CC13 ,  2H225CD05 ,  4F100AB01C ,  4F100AB11A ,  4F100AH04A ,  4F100AH04B ,  4F100AK49A ,  4F100AK49B ,  4F100AT00D ,  4F100BA03 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100CA30A ,  4F100CA30B ,  4F100EH46A ,  4F100EH46B ,  4F100EH66C ,  4F100EJ15A ,  4F100EJ15B ,  4F100EJ54A ,  4F100GB43 ,  4F100JB14A ,  4F100JG04 ,  4J001DA01 ,  4J001DD11 ,  4J001EB69 ,  4J001EC65 ,  4J001EC66 ,  4J001EC67 ,  4J001EC74 ,  4J001EE25C ,  4J001EE27C ,  4J001FB03 ,  4J001FC03 ,  4J001GA12 ,  4J001JA07 ,  4J001JB01 ,  4J043PA04 ,  4J043PC085 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043QB45 ,  4J043RA06 ,  4J043SA06 ,  4J043SA47 ,  4J043SA54 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043TA22 ,  4J043TA26 ,  4J043TA35 ,  4J043TA71 ,  4J043TB03 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA632 ,  4J043UB061 ,  4J043UB112 ,  4J043UB401 ,  4J043XA19 ,  4J043ZB22 ,  4J100AB07P ,  4J100AB13P ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL63Q ,  4J100AL66P ,  4J100AL66Q ,  4J100AL67P ,  4J100AL67Q ,  4J100AM25P ,  4J100AQ28P ,  4J100AR31P ,  4J100AU26P ,  4J100BA05Q ,  4J100BA08P ,  4J100BA08Q ,  4J100BA11Q ,  4J100BA27P ,  4J100BA50P ,  4J100BA51P ,  4J100BA55P ,  4J100BA58P ,  4J100BC43P ,  4J100BC73Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100DA00 ,  4J100FA02 ,  4J100FA03 ,  4J100FA17 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127BB041 ,  4J127BB071 ,  4J127BB221 ,  4J127BC021 ,  4J127BC151 ,  4J127BD261 ,  4J127BE241 ,  4J127BE24Y ,  4J127BF451 ,  4J127BF45Y ,  4J127BF531 ,  4J127BF53Z ,  4J127BG051 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG05Z ,  4J127BG081 ,  4J127BG08Z ,  4J127BG111 ,  4J127BG11Z ,  4J127BG121 ,  4J127BG12Y ,  4J127BG161 ,  4J127BG16Y ,  4J127BG171 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG251 ,  4J127BG25Z ,  4J127BG311 ,  4J127BG31Z ,  4J127CB152 ,  4J127CB221 ,  4J127CB281 ,  4J127CB282 ,  4J127CB342 ,  4J127CB372 ,  4J127CC031 ,  4J127CC132 ,  4J127CC292 ,  4J127CC311 ,  4J127FA17 ,  4J127FA41