特許
J-GLOBAL ID：202003011263934232
多孔質ガラス母材の焼結装置および焼結方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 信栄特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-110362
公開番号（公開出願番号）：特開2017-214257
特許番号：特許第6714849号
出願日： 2016年06月01日
公開日（公表日）： 2017年12月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 多孔質ガラス母材を収容して焼結を行うために炉体内に配置された炉心管と、
前記炉心管内にガスを供給する供給口と、
前記炉心管内からガスを排気するために排気管を介して排ガス処理装置に接続された排気口と、
前記排気口から前記排ガス処理装置への引き圧を発生させるように前記排気管の途中に設けられたエジェクターと、
当該エジェクターに接続され前記引き圧を発生させるための気体の流量を調整する流量調整器と、
前記炉心管内の圧力を測定する圧力測定部と、
前記圧力測定部の測定結果に基づいて、前記流量調整器によって前記気体の流量を調整して、前記排気口から前記排ガス処理装置への所定の引き圧を発生させて前記炉心管内の圧力を所定の圧力に維持する制御部と、
を備え、
前記排気管に引き圧を調整するための調節弁が設けられておらず、
前記炉心管は、
第一炉心管と、
前記第一炉心管内に配置された第二炉心管と、を備え、
前記第一炉心管と前記第二炉心管との間には、中間室が画成されており、
前記排気口は、前記中間室に設けられており、
前記圧力測定部は、前記中間室の圧力を測定し、
前記制御部は、前記圧力測定部によって測定された前記中間室の圧力の測定結果に基づいて、前記流量調整器によって前記気体の流量を調整して、前記中間室内の圧力を所定の圧力に維持する、
多孔質ガラス母材の焼結装置。
IPC (2件)：
C03B 8/04 ( 200 6.01)
, C03B 37/014 ( 200 6.01)
C03B 8/04 Q
, C03B 37/014 Z
, C03B 8/04 P
, C03B 8/04 M
, C03B 8/04 L
