特許
J-GLOBAL ID：202003011575689782
タングステン及びGST膜のためのエッチング溶液
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 三橋 真二
, 木村 健治
, 胡田 尚則
, 田中 直樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-008709
公開番号（公開出願番号）：特開2018-121056
特許番号：特許第6717862号
出願日： 2018年01月23日
公開日（公表日）： 2018年08月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 タングステン含有金属及びGST金属の両方に適したエッチング溶液であって、
水と;
没食子酸と;
(i)一般式NR1R2R3R4OHを有し、式中、R1、R2、R3及びR4が同一であるか又は互いに異なることができ、直鎖状又は分枝状C1〜C6アルキル、及び置換又は非置換C6〜C10アリールからなる群より選択される4級塩基、(ii)一般式NR1R2R3を有し、式中、R1、R2及びR3が同一であるか又は互いに異なることができ、水素、直鎖状又は分枝状C1〜C6アルキル、及び直鎖状又は分枝状C1〜C6アルコールからなる群より選択される有機アミン、並びに(iii)金属水酸化物からなる群より選択される少なくとも1つの強塩基と;
有機酸のアンモニウム塩と;
任意選択で、水混和性溶媒とを含み、pHが10以上であり、かつ、過酸化物酸化剤及び金属イオン含有酸化剤を実質的に含まない、エッチング溶液。
IPC (5件)：
H01L 21/308 ( 200 6.01)
, C23F 1/32 ( 200 6.01)
, H01L 21/8239 ( 200 6.01)
, H01L 27/105 ( 200 6.01)
, H01L 21/28 ( 200 6.01)
H01L 21/308 F
, C23F 1/32
, H01L 27/105 449
, H01L 21/28 E
, H01L 21/28 301 R
