特許

J-GLOBAL ID：202003011683519133

シリコン結晶の分析用試料の調製方法およびシリコン結晶中の微量不純物の定量方法

発明者： 谷池 誠司
出願人/特許権者： グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社
代理人 (2件)： 木下 茂 ,  澤田 優子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-167044
公開番号（公開出願番号）：特開2020-041809
出願日： 2018年09月06日
公開日（公表日）： 2020年03月19日
要約：

【課題】シリコン結晶に含まれる微量不純物を精度良く定量するために、アンチモンをドープしたシリコン結晶からアンチモン成分を除去する方法、すなわち、シリコン結晶中の微量不純物分析用の試料の調製方法を提供する。【解決手段】シリコン結晶に含まれる微量不純物の定量に用いる分析用試料の調製方法であって、アンチモンをドープしたシリコン結晶を酸により分解し、分解後の溶液にリチウムを含む溶液を加えた後、生成する沈殿物を除去することを特徴とする、シリコン結晶の分析用試料の調製方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

シリコン結晶に含まれる微量不純物の定量に用いる分析用試料の調製方法であって、 アンチモンをドープしたシリコン結晶を酸により分解し、分解後の溶液にリチウムを含む溶液を加えた後、生成する沈殿物を除去することを特徴とする、シリコン結晶の分析用試料の調製方法。

IPC (2件)：

G01N 31/00 ,  G01N 31/02

FI (3件)：

G01N31/00 A ,  G01N31/02 ,  G01N31/00 Y

Fターム (5件)：

2G042AA01 ,  2G042BC14 ,  2G042CA03 ,  2G042DA01 ,  2G042EA07