特許
J-GLOBAL ID：202003011876594191
基板搬送方法及び基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
別役 重尚
, 村松 聡
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-247208
公開番号（公開出願番号）：特開2019-057738
特許番号：特許第6640321号
出願日： 2018年12月28日
公開日（公表日）： 2019年04月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 円板状の基板を搬送手段によって基板処理室へ搬送する基板搬送方法であって、
前記基板を搬送する際の前記基板の位置の基準となる基準基板位置を予め取得する工程と、
前記基板処理室へ搬送される前記基板の位置である搬送時基板位置を取得する工程と、 前記基準基板位置に対する前記搬送時基板位置の位置ずれを算出する工程と、
前記算出された位置ずれを解消するように前記基板処理室までの前記基板の進路を修正する工程とを有し、
前記搬送時基板位置を取得する工程は、
前記基板の搬送経路において、2つの位置センサを前記基板の直径よりも小さい間隔で互いに離間し、且つ前記搬送される基板に対向するように配置する工程と、
前記2つの位置センサが前記基板の外縁と交差する4つの交差点を取得する工程と、 前記4つの交差点から3つの交差点からなる交差点の組合せを複数作成する工程と、
各前記組合せにおいて前記3つの交差点を通過する円を規定する工程と、
前記規定された円のうち、前記搬送される基板の径にもっとも近い径を有する円に基づいて前記搬送時基板位置を取得する工程とを有することを特徴とする基板搬送方法。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, B25J 9/10 ( 200 6.01)
H01L 21/68 A
, B25J 9/10 A
