特許
J-GLOBAL ID：202003012742761730
観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人平木国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-246439
公開番号（公開出願番号）：特開2019-067774
特許番号：特許第6710269号
出願日： 2018年12月28日
公開日（公表日）： 2019年04月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1の厚さの第1の部分と、前記第1の厚さよりも厚い第2の厚さの第2の部分と、を有する試料を準備し、
前記試料の厚さ方向とは異なる向きでガス噴出方向を互いに異なるようにして、前記試料に第1のガス及び第2のガスを噴射し、
前記第2の部分を測定端子との接触部にして前記試料の電気計測を行い、
荷電粒子線装置の光軸方向が前記試料の厚さ方向になるようにして、前記試料の観察部としての前記第1の部分に荷電粒子線を照射することを特徴とする観察方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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